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建设项目环评文件和备案承诺书公示公告
2019-06-27
 

中芯集成电路制造(绍兴)有限公司于2019627日对
中芯绍兴MEMS和功率器件芯片制造及封装测试生产基地项目
建设项目环评文件和备案承诺书公示公告

序号

项目名称

建设地点

建设单位

建设项目
概况

公众参与情况

相关环保措施承诺

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

1

中芯绍兴MEMS和功率器件芯片制造及封装测试生产基地项目

绍兴市越城区银城路以东、临江路以南、银桥路以西地块

中芯集成电路制造(绍兴)有限公司

新建生产厂房及配套公辅设施,购置生产线设备,形成8英寸线宽180nm集成电路芯片51万片/年和19.95亿颗模组/年的生产规模

详见环评报告

建设单位承诺按环评要求落实各项污染防治措施

废水:拟分别设置含氟废水处理系统、含氨废水处理系统、CMP废水处理系统、含铜废水处理系统、普通金属化废水处理系统、含铬废水处理系统、含镍废水处理系统、含金废水处理系统、含银废水处理系统、划片废水回收处理系统、综合废水中和系统对生产废水进行处理。生活污水进入生活污水处理系统处理。废水经厂内处理达标后,排至市政截污管网,进入绍兴污水处理厂处理后达标排放。

废气:一阶段酸性废气经碱液喷淋吸收塔处理;EPI酸性废气经POU净化装置处理后,接至酸性废气处理系统处理;碱性废气经酸液喷淋吸收塔处理;有机废气经沸石浓缩转轮焚烧系统处理;不含砷工艺尾气经POU净化装置处理后,接至酸性废气处理系统处理;含砷工艺尾气单独经POU净化装置处理;废水处理站废气依托酸性或碱性废气处理系统处理;上述废气经相应设施处理后,尾气由排气筒达标排放。本项目二阶段划片废气经碱液喷淋塔处理;回流焊废气、塑封废气经活性炭吸附装置处理;打印粉尘经布袋除尘器处理;上述废气经应设施处理后,尾气由排气筒达标排放。锅炉烟气由排气筒达标排放。柴油发电机尾气由专用烟道排放。食堂油烟经净化器处理后排放。

噪声:通过对产噪设备进行了基础减震后,以及隔声、消声等措施后能有效减轻噪声源对环境的影响,厂界噪声满足功能要求。

固废:危险废物主要包括废光阻及去光阻液、硝酸废液、磷酸废液、废M2清洗液、有机清洗废液(NMP)、废异丙醇、化学镀废液(包括沉锌剂、退锌剂、化学镍液、化学钯液、化学金液)、硫酸废液、含铜废液、含镍废液、含铜污泥、废矿物油、废离子交换树脂、废吸附材料、沾有酸、碱、有机溶剂及其他危险废弃物的固体废物、沾染砷的固体、废化学品容器、废铅酸电池(UPS系统更换)、废灯管、废电子零部件,均交有相应处置资质的单位进行处置,厂区内设危险废物暂存间进行贮存。一般废物中,含氟污泥交专业公司处置;废靶材、废芯片、废研磨垫、废引线框架、废锡膏、锡球、基板废料、树脂材料、废包装材料由废品收购商回收。办公生活垃圾和餐厨垃圾由市政环卫清运。各类废物处置去向明确,不会造成二次污染。待鉴定废物若鉴别结果判定为危险废物,则需交由有危险废物处理资质的单位处置;若鉴定为一般固废,则交由相应的单位进行资源化、无害化处置,并且项目建设单位需将鉴定结果交由环保局备案。在鉴别前,硫酸铵废液需按照危险废物的暂存及处置要求进行管理。

现将各建设项目环境影响评价文件和备案承诺书的基本情况予以公告。
企业:中芯集成电路制造(绍兴)有限公司  联系人:张鹏波,联系电话:18138423979
环评单位:信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司  联络人:刘工、张工,联系电话:028-84372118

附件:

1、环评公示文件全本 【附件1-1 绍兴中芯项目公示全本-01.pdf附件1-2 绍兴中芯项目公示全本-02.pdf附件1-3 绍兴中芯项目公示全本-03.pdf
2、备案承诺书 【附件2 环评文件备案承诺书.pdf

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