序号

项目名称

建设地点

建设单位

建设项目
概况

公众参与情况

相关环保措施承诺

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

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中芯绍兴MEMS和功率器件芯片制造及封装测试生产基地项目

绍兴市越城区银城路以东、临江路以南、银桥路以西地块

中芯集成电路制造（绍兴）有限公司

新建生产厂房及配套公辅设施，购置生产线设备，形成8英寸线宽180nm集成电路芯片51万片/年和19.95亿颗模组/年的生产规模

详见环评报告

建设单位承诺按环评要求落实各项污染防治措施

废水：拟分别设置含氟废水处理系统、含氨废水处理系统、CMP废水处理系统、含铜废水处理系统、普通金属化废水处理系统、含铬废水处理系统、含镍废水处理系统、含金废水处理系统、含银废水处理系统、划片废水回收处理系统、综合废水中和系统对生产废水进行处理。生活污水进入生活污水处理系统处理。废水经厂内处理达标后，排至市政截污管网，进入绍兴污水处理厂处理后达标排放。

废气：一阶段酸性废气经碱液喷淋吸收塔处理；EPI酸性废气经POU净化装置处理后，接至酸性废气处理系统处理；碱性废气经酸液喷淋吸收塔处理；有机废气经沸石浓缩转轮焚烧系统处理；不含砷工艺尾气经POU净化装置处理后，接至酸性废气处理系统处理；含砷工艺尾气单独经POU净化装置处理；废水处理站废气依托酸性或碱性废气处理系统处理；上述废气经相应设施处理后，尾气由排气筒达标排放。本项目二阶段划片废气经碱液喷淋塔处理；回流焊废气、塑封废气经活性炭吸附装置处理；打印粉尘经布袋除尘器处理；上述废气经应设施处理后，尾气由排气筒达标排放。锅炉烟气由排气筒达标排放。柴油发电机尾气由专用烟道排放。食堂油烟经净化器处理后排放。

噪声：通过对产噪设备进行了基础减震后，以及隔声、消声等措施后能有效减轻噪声源对环境的影响，厂界噪声满足功能要求。

固废：危险废物主要包括废光阻及去光阻液、硝酸废液、磷酸废液、废M2清洗液、有机清洗废液（NMP）、废异丙醇、化学镀废液（包括沉锌剂、退锌剂、化学镍液、化学钯液、化学金液）、硫酸废液、含铜废液、含镍废液、含铜污泥、废矿物油、废离子交换树脂、废吸附材料、沾有酸、碱、有机溶剂及其他危险废弃物的固体废物、沾染砷的固体、废化学品容器、废铅酸电池(UPS系统更换)、废灯管、废电子零部件，均交有相应处置资质的单位进行处置，厂区内设危险废物暂存间进行贮存。一般废物中，含氟污泥交专业公司处置；废靶材、废芯片、废研磨垫、废引线框架、废锡膏、锡球、基板废料、树脂材料、废包装材料由废品收购商回收。办公生活垃圾和餐厨垃圾由市政环卫清运。各类废物处置去向明确，不会造成二次污染。待鉴定废物若鉴别结果判定为危险废物，则需交由有危险废物处理资质的单位处置；若鉴定为一般固废，则交由相应的单位进行资源化、无害化处置，并且项目建设单位需将鉴定结果交由环保局备案。在鉴别前，硫酸铵废液需按照危险废物的暂存及处置要求进行管理。