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MEMS
MEMS技术简介
中芯绍兴团队已经在MEMS领域耕耘了已有十多年,拥有丰富的研发和大规模量产经验。 技术路线主要分为两类: 第一种为器件直接接触外部环境的开放式结构,例如MEMS麦克风、压力传感器、超声波传感器等; 第二种为器件密闭在封盖中的封闭式结构,例如振荡器、加速度计、陀螺仪等。
  • MEMS麦克风
  • 压力传感器
  • 加速度计
  • 陀螺仪
  • 超声波传感器
MEMS特点
中芯绍兴MEMS工艺平台布局完整,技术先进,具备CMOS-MEMS单芯片集成和晶圆级封装能力, 可以为客户提供定制化工艺研发和大规模量产解决方案。
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